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冷镜式露点仪
冷镜式露点仪，利用热电制冷器冷却露点传感器的镜面或声表面波器件，使气体中的水蒸气在露点传感器的镜面上冷凝为露或霜，光电系统自动控制平衡，使镜面上的露或霜与气体中的水蒸气呈相平衡状态，用铂电阻温度计准确测量镜面上露层或霜层的温度，从而获得气体的露点温度。
该方法的主要优点是精度高，尤其在采用半导体制冷和光电检测技术后，不确定度甚至可达0.1℃；缺点是价格较高，对操作人员的要求较高，并需进行维护。对污染物敏感。响应速度较慢，尤其在露点-60℃以下，平衡时间甚至达几个小时。
该种露点仪可作为标准露点仪使用。目前国际上达到±0.1℃(露点温度)，一般精度可达到±0.5℃以内。
目前世界上生产冷镜式露点仪的公司，例如美国的GE、Edgetech、瑞士的MBW等公司均是采用这一原理，英国的MICHELL则是采用双光路检测系统，即同时对反射光及散射光进行检测，芬兰Vaisala则是利用声波作检测系统。
电传感器式露点仪
采用亲水性材料或憎水性材料作为介质，构成电容或电阻，在含水份的气体流经后，介电常数或电导率发生相应变化，测出当时的电容值或电阻值，就能知道当时的气体水份含量。建立在露点单位制上设计的该类传感器，构成了电传感器式露点分析仪。国际上达到±1.0℃(露点温度)，一般精度可达到±3℃以内。
目前世界上生产电传感器式露点仪的公司，如MICHELL公司的EASIDEW ON-LING、一般精度可达到±3℃以内。还有VAISALA公司的DMT242、DMT143，DMT340系列。 。
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镜筒
镜筒包括电子枪、聚光镜、物镜及扫描系统。其作用是产生很细的电子束(直径约几个nm)，并且使该电子束在样品表面扫描，同时激发出各种信号。
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