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高熵合金通常含有较高原子比例的铬、铝等元素，与传统的高温合金相比，从理论上具有更的抗氧化性。Tsao等研究了基于Al-Ti-Cr-Fe-Co-Ni体系的高温高熵合金的900~1100℃/5~200h高温氧化和腐蚀性能，并与CM247LC镍基高温合金进行了比较。该研究观察到高熵合金由于不同的溶质形成了复杂的氧化物，并认为含量较高的铬和铝促进了保护性铬和氧化铝层的形成，表现出的热腐蚀和抗氧化性。
难熔高熵合金主要是由铌、钼、钽、钨、锆、钒等抗氧化性较差的高熔点元素作为主元，在高温氧化过程中难以生成致密的氧化物来阻碍氧内扩散。对于难熔高熵合金通常研究钨、钼等在氧化过程中的作用。针对高熵合金的实际开发需求，可以从涂层、热处理工艺和制备方法等方面优化高熵合金的氧化性能。
许多高熵合金厂家在高熵合金中都加入了大量的铝、铬等元素，因此抗氧化性相较于传统的高温合金具有一定的优势。难熔高熵合金由于富含多种难熔易氧化元素，其抗氧化性差的问题是其推广应用的大障碍。如何解决难熔高熵合金的抗氧化性是今后需要着重研究的问题。
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