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LAM796-055344-005水蒸汽brooks流量计

更新时间:2024-06-28 13:16:02 信息编号:s83p004dg2e923
LAM796-055344-005水蒸汽brooks流量计
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  • LAM796-055344-005,BROOKS,流量计,VDM300

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LAM796-055344-005水蒸汽brooks流量计

产品别名
VDM300,BROOKS,LAM流量计,水蒸气流量计
面向地区
品牌
其它
用途
其它
泵轴位置
卧式
材质
铸钢
加工定制
驱动方式
电动
输送介质
热水泵
性能
自动
叶轮吸入方式
单吸式
真空度
低真空度
类型
其它
LAM796-055344-005水蒸汽brooks流量计VDM300
深圳市天铉真空技术有限公司
VDM300 去离子水蒸汽输送模块
实现高流量精度的纯度去离子水蒸汽输送
型号 VDM300
Brooks Instrument 的蒸汽输送模块 (VDM) 是用于输送纯度去离子水蒸汽的、自足式模块。它的特点是节能设计,能在低温环境下产生纯蒸汽。该模块采用了成熟的蒸汽输送技术,并结合了的数字控制和集成诊断功能,集成在一个小巧,方便的外壳中。

VDM 专为的剥离和金属刻蚀后段钝化工艺设计。相比闪蒸系统,它能提,使流速更快,控制范围更广,功耗更小。基于成熟的热式质量流量测量技术,VDM 能在非过热蒸汽阶段产生蒸气,从而降低去离子水的侵蚀效果,提高了可靠性,改良了清洁操作。

它还通过一个立的服务端口和直观的图形用户界面,提供人性化的数据记录和诊断功能。

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