三代半导体分子束外延设备SiC和GaN薄膜生长真空机械分子泵MBE
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更新时间：2024-10-06 09:47:08 信息编号：c53fp1a6obb862

￥50000

≥ 1台

价格：
50000.00 元
品牌：
星海威
用途：
半导体晶体生长
关键词：
半导体,分子束外延,真空设备,sic和GAN

段传忠

19924466312

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详情介绍

三代半导体分子束外延设备SiC和GaN薄膜生长真空机械分子泵MBE

产品别名	外延设备,分子束外延	面向地区	广东深圳	品牌	星海威
用途	半导体晶体生长	泵轴位置	卧式	加工定制	是
驱动方式	电动	输送介质	热水泵	叶轮吸入方式	单吸式
真空度	低真空度

深圳市星海威半导体分子束外延设备，可以促进sic和GaN薄膜的生长。分子束外延是一种特上个月的真空镀膜工艺，在适当的衬底和与合适的条件下，会沿衬底材料晶轴的方向逐渐逐层生长薄膜。
分子束外延设备广泛应用于电子工业，交通运输，光伏等领域，不仅可以用来制备现有的器件，还可以制备新器件。
技术特点:
1单腔/多片（较大3x8lnch）+洁净真空机械手搬运
2个盘立控温，控温精度高
3水平层流布气+分子泵排期，控制气体分布均匀
5工艺进展实时监控，控制参数

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