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光学3D白光干涉仪SuperViewW1中图仪器

更新时间:2024-10-09 16:18:02 信息编号:b6278bocef5631
光学3D白光干涉仪SuperViewW1中图仪器
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详情介绍

产品别名
光学3d轮廓仪,3d测量仪
面向地区
品牌
其它
型号
SuperViewW1
类型
光学显微镜
目镜放大倍数
其它
适用范围
其它
物镜放大倍数
0.7x-4.5x
仪器放大倍数
40X
加工定制
结构形式
其它

光学3D白光干涉仪SuperViewW1中图仪器

深圳中图仪器SuperViewW1光学3D白光干涉仪基于白光干涉原理,不仅用于零件的检测,还是一种在生产中用于检测轧制产品表面缺陷的设备,能完成缺陷尺寸的在线检测。广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。

SuperViewW1光学3D白光干涉仪测量单个精密器件的过程用时2分钟以内,确保了高款率检测,具有测量精度高、操作便捷、功能全、测量参数涵盖面广的优点。它特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精密器件表面的测量。

产品功能
1) 一体化操作的测量与分析软件,操作无须进行切换界面,预先设置好配置参数再进行测量,软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能,即可快速实现批量测量功能。
2) 测量中提供自动多区域测量功能、批量测量、自动聚焦、自动调亮度等自动化功能。
3) 测量中提供拼接测量功能。
4) 分析中提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能,其中调整位置包括图像校平、镜像等功能;纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能;滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能;提取包括提取区域和提取剖面等功能。
5) 分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能,其中粗糙度分析包括依据国际标准的ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数分析功能;几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等功能;结构分析包括孔洞体积和波谷深度等;频率分析包括纹理方向和频谱分析等功能;功能分析包括SK参数和体积参数等功能。
分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能,设置分析模板,结合3d测量仪测量中提供的自动测量和批量测量功能,可实现对小尺寸精密器件的批量测量并直接获取分析数据的功能。


光学3d轮廓仪测量单刻线台阶
在检查SuperView W1白光干涉仪的各线路接头都准确插到对应插孔后,开启仪器电源开关,启动计算机,将单刻线台阶工件放置在载物台中间位置,先手动调整载物台大概位置,对准白光干涉仪目镜的下方。

在计算机上打开白光干涉仪测量软件,在软件界面上设置好目镜下行的点,再微调镜头与被测单刻线台阶表面的距离,调整到计算机屏幕上可以看到两到三条干涉条纹为佳,此时设置好要扫描的距离。按开始按钮,光学3D白光干涉仪可自动进行扫描测量,测量完成后,转件自动生成3D图像,测量人员可以对3D图像进行数据分析,获得被测器件表面线、面粗糙度和轮廓的2D、0D参数。

深圳市中图仪器股份有限公司 9年

  • 闪测仪,一键式测量仪,图像尺寸测量仪,二次元
  • 广东深圳市南山区西丽学苑大道1001号南山智园B1栋2楼

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