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等离子体(plasma)又叫做电浆,是由部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质,尺度大于德拜长度的宏观电中性电离气体,其运动主要受电磁力支配,并表现出显著的集体行为。它广泛存在于宇宙中,常被视为是除去固、液、气外,物质存在的第四态。等离子体是一种很好的导电体,利用经过巧妙设计的磁场可以捕捉、移动和加速等离子体。等离子体物理的发展为材料、能源、信息、环境空间、空间物理、地球物理等科学的进一步发展提供了新的技术和工艺。
在工业生产过程中对电子元件、光学部件、机械零件、高分子材料 等表面的超纯度清洗,以消除极微小污垢颗粒,常常是一道非常关 键的工艺。
传统的清洗方式大多为湿法清洗,随着现代高科技的不断发展这种 清洗方法已暴露出其致命的缺陷,即清洗干燥以后的清洗剂残余和 微小颗粒会附着在表面,已经不能满足现代高科技工艺的要求。
低温等离子清洗工艺实际上是把污染物从被处理工件上移开,并在等离子体反应的冲击下被带走,处理循环一般只需要几分钟就能很好除去表面的脏污,真正做到无残留,。
由于气体对于微小缝隙的渗透力远远大于液体,对于复杂形态的物体同样可以得到清洗的效果。
等离子清洗过程中起决定性的因素是无论常压状态,还是真空状态,即使在温室的条件下,等离子体都会和有机污染物产生反应,分解成水和二氧化碳等分子,并具有良好的挥发性。
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