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淮安M4D9-17划片刀,温州M4D9-17划片刀,海北M4D9-17划片刀,辽阳M4D9-17划片刀 |
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划片刀又称金刚石划片刀,包含三个主要元素:金刚石颗粒的大小、密度和粘结材料。 金刚石颗粒在晶圆的切割过程中起着研磨剂的作用,通常是由CBN (Cubic Boron Nitride)合成而来。 金刚石颗粒尺寸从2um到8um之间变化。 为达到更好的切割质量,通常选用带棱角的金刚石颗粒。 金刚石颗粒的密度代表着金刚石颗粒占金刚石刀片的体积比。
主要用于对半导体硅晶圆、化合物半导体晶圆(SiC、GaAs、GaP等)、氧化物半导体晶圆(LiTaO3 等)等半导体晶圆进行、精密划切,实现芯片单体化。
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因为硅材料的脆性,机械切割方式会对晶圆的正面和背面产生机械应力,结果在芯片的边缘产生正面崩角(FSC- Front Side Chipping)及背面崩角(BSC – Back Side Chipping)。
正面崩角和背面崩角会降低芯片的机械强度,初始的芯片边缘裂隙在后续的封装工艺中或在产品的使用中会进一步扩散,从而可能引起芯片断裂,导致电性失效。另外,如果崩角进入了用于保护芯片内部电路、防止划片损伤的密封环(Seal Ring)内部时,芯片的电气性能和可靠性都会受到影响。
封装工艺设计规则限定崩角不能进入芯片边缘的密封圈。
北京汐源科技有限公司
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